研发服务

研发服务

湿化材料服务能力

集材院应用研发平台的湿电子化学品检测服务,可针对通用化学品和功能性化学品,包括DIW、IPA、HF、HCI、HNO3、H2SO4、H3PO4、H2O2等,提供理化性能测试、定制化成分分析、刻蚀工艺验证等服务。


湿化学品材料服务能力




🔷  湿化学品工艺验证

√ 刻蚀液:刻蚀速率、刻蚀前后颗粒表现、膜厚等

√ 清洗液:清洗前后的颗粒、阴阳离子、总有机碳等


🔷  湿化学品材料表征测试

√ 各类湿化学品COA测试


🔷  配方类化学品计算仿真

√ 材料设计

√ 生产工艺优化

√ 材料与工艺的构效关系建立


湿化学品理化测试

                                     

测试

项目

测试

设备

可测试类别

可分析的精度

金属

杂质

电感耦合等离子体质谱仪

ICPMS

DIW/ H2O2/ HF/HCI/ HNO3

H2SO4/ H3PO4/ NMP/ TMAH/ 氨水

针对DIW / H2O/ HF /

H2SO4:10ppt

阴离子

离子色谱仪IC

DIW/ H2O2/

IPA

针对DIW:20ppt

针对H2O2:1ppb

液体

颗粒

液体颗粒计数器LPC

各类

湿电子化学品

侦测粒径:0.2μm-2μm

建议浓度:1200pcs/ml

侦测粒径:0.03-0.13μm

建议浓度:40000pcs/ml

TOC

总有机碳分析仪TOC

DIW/H2O2/HCI/ HNO3/ H2SO4/ H3PO4/ 氨水

针对DIW/ H3PO4:100ppt

针对H2O2/HCI/H2SO

/Slurry:500ppb

针对氨水:1ppm

表面

张力

接触角测量仪

各类

湿电子化学品

测量范围0-180°

分辨率0.01°

主成分

测试

电位滴定仪/气相色谱

各类无机、有机类湿电子化学品

气相色谱:0.0001%

色度

色度仪

各类

湿电子化学品

电位滴定仪:0.01%

pH值

pH计

各类

湿电子化学品

/

密度

密度计/

天平

各类

湿电子化学品

/

固含量

固含量测试仪

各类

湿电子化学品

/



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如有湿电子化学品检测服务需求,欢迎联系。


联系人:刘冬林

联系电话:13601896565

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联系电话:13524812667

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